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电子光学无尘净化车间工程解决方案

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电子光学无尘净化车间工程解决方案

电子光学(半导体、PCB、芯片、晶片、摄像头、光学镜片、LCD、OLED、液晶、显器件FED、多晶硅等)的生产对车间环境要求很严,制造工序不同,部分区域的洁净度要求也不同,通常以十级、百级、千级、万级、十万级为标准。而每一个区域环境,如温度、湿度,洁净室工艺方面也要考虑照明、抗静电、抗威震、废弃废水、大宗气体和特殊气体的排放等,同样有规范标准,这些环境参数关系到产品的合格率和使用寿命,因此超洁净车间才能赋予产品品质上的首要保障。


电子厂房洁净度测试:(制造产品不同,要求也不同,以下为参考,非标准)

洁净度测试是无尘室性能测试的核心,气流测试、压力测试,与泄漏测试,都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响,因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕,与落尘有关的性能因素就都测试完毕,其他测试对洁净度影响不大,或是属于其他环境测试。

测试仪器:洁净度测试使用微粒计数器,仪器须经校正合格且仍在有效期限内及均须检附合格之校正档,洁净度等级定级的粒径范围0.1~5.0μm。

测试步骤:确定采样点数量、绘制采样点布置图、确定测试仪器和采样量、现场采样、数据计算分析,每个采样点最少采样时间为1分钟,且采样量应按照采用设备为准取值。

信赖度上限:任一无尘室或独立的隔间,若是取样点数小于10(2到9),每一取样点的平均值代表该点的微粒量测值。

电子厂房FFU过滤单元测试:(制造产品不同,要求也不同,以下为参考,非标准)

FFU广泛应用于无尘室、无尘操作台、无尘生产线、组装式无尘室和局部百级等应用场合。足够的风速与风量是洁净度的保证,过大的风速与风量不仅浪费能量,而且有时会影响正常的工作。

检查空气管和探头有没堵塞,将探头的支撑脚紧贴于FFU表面、稳定。由于是压差式风速计,因此读数时注意空气管不可被挤压,不可晃动。

每片FFU测量两点,计算平均值,要求FFU风速上下相差不可大于20%。

电子厂房静压力测试:(制造产品不同,要求也不同,以下为参考,非标准)

静压差的测定应在洁净室(区)的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行,并应在所有的门关闭时检测。仪器宜采用各种微差压力计,仪表灵敏度应小于1.0Pa。

级别不同的洁净室区域与非洁净室区域之间的静压差,不小于5Pa。洁净室与室外的静压差,不应小于10Pa。

打开空气洁净度等级高于百级的单向流洁净室门时,门内0.6米的室内工作区含尘浓度不应大于相应级别的含尘浓度限值。

电子厂房照明度测试:(制造产品不同,要求也不同,以下为参考,非标准)

洁净车间照明亮度标准与普通室内要求不同,所有照明灯具均要求符合《洁净室工程施工与验收》标准,灯具必须带有机玻璃或者其他材质的透明灯罩,照明灯具周边具有不产尘、不集尘等特点。

照度的测定要求室内照度的测定必须在室温稳定,光源光输出稳定后再进行测定。

照度的测定方法:第一,照度的测点应距离地面0.85m, 按间距1~2m布点,测点距离墙1m。第二,记录实测值并计算总的平均照度。第三,照度测定一般是不含局部照明以外的一般照明。

合格标准: 应符合设计要求,根据(洁净厂房设计规范)的要求,洁净室内一般照明的均匀度不应小于0.7。

电子厂房温湿度测试:(制造产品不同,要求也不同,以下为参考,非标准)

洁净车间湿度的基本工作条件,几乎所有的洁净室对于湿度都有明确的要求。湿度过大会使许多物质发生化学反应,从而影响产品质量,甚至使设备失效,产品报废。湿度过低又会使许多物质脱水变形,失去原有的功能。

净化车间内的空气环境温度和相对湿度在检测之前,净化空调系统必须持续运作起码12个小时以上。

依据环境温度和相对湿度波动范围,检测宜持续开展8-48小时,每一次检测间隔时间不可超出30分钟。

净化车间内的测点通常应布置在距外墙表面层超出0.5米、距地0.8米的相同高度上;也可依据区域大小,各自布置在距地不一样高度的多个平面上。

电子厂房防静电测试:(制造产品不同,要求也不同,以下为参考,非标准)

静电问题不是只有半导体业才有,其他行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电,就会变成非常难处理的问题,因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面,若是物体表面带有静电,就很容易吸引灰尘造成污染。

静电测试的目地是量测空气中正离子与负离子的含量,依此数据可模拟物体在该气流场中之残余表面电压。

防静电测试方面通常为地面静电测试,测试的环境温度15-35℃,相对湿度45%-70%(测试设备不同,标准也会不同,仅供参考)。


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