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什么是净化车间及分类作用和注意事项

什么是净化车间及分类作用和注意事项

来源:青岛德尔森净化    

什么是净化车间?
什么是净化车间:

净化车间也叫无尘车间、洁净室、无尘室等,是指将一定空间范围之内的空气中的微粒子、有害气体、细菌等之污物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围之内,给予特别之设计的房间。也即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
 
净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板。
 
按照国际惯例,无尘车间净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当 然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光 学构造产品的生产上,净化车间无尘是必然的要求。

净化车间无尘室等级分类:
 
世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。 洁净网z:Wg1pj
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。

净化车间的作用:

净化车间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
  每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
 
净化车间设计施工注意事项:
 
制定净化车间施工程序表:建设净化车间有先后的顺序,杜绝哪部分材料先到就先施工哪部分的极端错误做法,避免污染。允许同时施工的各部分要注意彼此间的衔接关系,必要时应绘制施工二次设计图。
高效过滤器的安装:净化车间安装高效过滤器之前,应彻底做好清洁工作,净化送、回风系统连接试运行24小时后,再次清洁洁净室后,立即安装高效过滤器。
洁净送、回风系统风管的施工:风管内表面必须平整光滑,风管安装之后、保温之前应进行漏风检查。风管与部件支、吊架的预埋件、射钉或膨胀螺栓的位置应正确,牢固可靠,埋入部分应去除油污,并不得涂漆。
设置专用仓储间:所有材料和设备说明书和合格证均应妥善保管,以便竣工验收后将资料完整的移交给用户。设备和材料到达净化车间施工现场时,应严格检查,各种过程器开箱检查后应重新封存。
做好净化车间的密封工作:洁净车间的气流要有序流动,按照设计者的意图流动,不该漏的地方绝对不能漏。很多人认为净化车间施工时为了平衡新风,要排掉一部分室内的空气,漏一点也无所谓,这种观点是不可取的。
其他事项:净化车间施工前对原有的建筑进行彻底的清扫和修补工作,对原有的门窗要做好密封工作。洁净车间超纯水和超纯气系统的安装必须请有资质的专业人员进行。

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