空气由空调箱经风管与超净间内之空气过滤器(hepa)进入超净间,超净间等级划分,并由超净间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于超净间等级1,000-100,000级。
超净间分类优点:构造简单、系统建造成本,超净间之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,南京超净间,提高超净间等级。
超净间分类缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再ji活,超净间标准,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。 层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于超净间等级需定较高之环境使用,一般其超净间等级为class 1~100。
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