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洁净室建设施工基本要求 保证洁净室工程顺利完工

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目前,中国正处于产业升级阶段,全球IC半导体及光电企业向中国内地转移。产业结构的调整将大大加快现代高新技术产业的发展。IC半导体、光电、生物制药、医疗卫生等下游客户在这一阶段发展迅速,在下游行业保持较高的繁荣。随着企业数量的增加。在技术进步等综合因素的作用下,下游客户对生产环境的要求不断提高,对洁净室工程行业的需求也越来越大。

洁净室建设施工基本要求 保证洁净室工程顺利完工

2021年,随着缺芯的加剧,晶圆产能严重不足的观点在业内成为共识,晶圆厂投资热潮再次上演,国内半导体行业投资规模大幅上升。

以国内领先的晶圆OEM制造商中芯国际为例,2022年仍处于投资高峰期,资本支出预计约为50亿美元,以继续推动现有老厂和上海临港的扩建。

除中芯国际外,华虹半导体正在启动a股IPO。虽然没有明确规定a股募集资金的投资,但业内普遍认为扩产是其主要动力。

同时,中芯绍兴、合肥长信、长江储存、台积电、晶合一体化、粤芯半导体等国内知名晶圆厂也纷纷宣布扩产。晶圆厂的投建热潮必将带动行业电子洁净室工程的市场需求。

OLED电子设备的生产必须在超洁净室进行。工厂洁净室工程的工艺、设计、清洁度等布局会影响OLED产品的质量,决定生产线产品的合格率,进而影响企业成本、交付等诸多问题。

OLED中试线的洁净室工程案例介绍了洁净室工程案例的四个重要点:

1.厂房工程概况:

本工程主厂的生产区域为两层钢筋混凝土框架结构和钢屋架结构。混凝土屋面采用柔性聚合物卷材屋面,钢结构屋面采用机械固定卷材屋面,一层4.8m,二层6.4m。一层技术下夹层与二层生产区之间的地板采用华夫板,华夫板上的开口满足两层之间的回风。华夫板上设置导电架空地板,设备按工艺要求布置在架空地板或华夫板上。

2.设施和车间布局:

一楼主要包括技术夹层、回风夹层、门厅、换鞋区。一个更多。化学供应、特殊气体供应、废水收集、废水提升站、冷却循环水站、纯水抛光室、真空间、变电站、材料临时存储室、成品临时存储室等。

二层为大开间工艺生产区,布置生产设备。该层与技术下夹层之间的结构地板为开口率一定的华夫板,安装在华夫板上方的架空活动地板,满足回风要求;生产设备层吊顶安装风机过滤器单元(FFU),满足生产层净化要求。

二层核心净化区包括PVD/CVD、光刻间、掩模清洗、注入间、RTA、ELA、CVD、基板清洗间、小片切割、蒸镀、分区、UV硬化、基板切割间、探针、阵列检测间、缓冲间、有机库、FMM库、QA、回风夹道等。核心净化区周围的其他功能性房间包括空调室、电气室、配电室、维修室、材料库等。核心净化生产区两侧设计回风、管道竖井,形成净化空气的循环回路。此外,建筑两侧设计多个楼梯,形成各层室外疏散通道。为满足净化生产的微振动要求,二层楼板-华夫板拟采用较厚的穿孔楼板结构,华夫板表面涂有环氧树脂涂料。为了满足生产工艺的灵活布局,提高净化面积的使用效率,生产人员通过主入口大厅进入换鞋区,然后进入一次更衣室,通过员工专用楼梯进入二层更衣室,再通过淋浴室进入生产区。

洁净室空调系统由MAU(新鲜空气处理系统)+FFU+干线管组成。生产区天花板由风机过滤单元(FFU)和金属天花板框架组成。FFU根据各生产平台的要求进行均匀分布,覆盖率取决于生产过程的要求。新鲜空气由MAU(新鲜空气处理系统)集中处理,与室内循环空气混合,由FFU加压。过滤后送入生产区。生产区设备、人员、照明、外壳结构等冷负荷由干线管承担。MAU负责洁净室的湿度和正压控制。MAU的空气供应需求约为5万CMH×2+1台,洁净室的循环空气量约为7.73万CMH。新鲜空调机组入口前,新鲜空气入口附有无织布滤网和仓库隔间空气室,延长主滤网的使用寿命。

在化学品库和气体之间设置独立的空调系统,新鲜空气经处理后送入室内,然后通过排气系统排放到室外,空气不回收。

工艺排气系统:在工艺生产过程中产生酸、碱、有机溶剂、高沸点有机、有害等废气。为保护生产人员的健康,减少工作环境和工厂周围空气的污染,设计了相应的局部排气系统。室内排气系统和废气处理系统。为消除工艺生产区工艺设备散发的热量而设计的局部排气系统。室内排气系统的排气可直接排入大气,无需处理。为消除工艺生产区工艺设备散发的酸、碱、有机溶剂、高沸点有机、有害废气的局部排气系统,排气必须经废气洗涤塔等废气处理装置处理,达到国家排放标准后才能排入大气。工艺排风系统排风机风量设置约STR400cmH×1+1台;GEX-D18000cmH×1+1台;EX-W&GEX-H12300cmH×1台,备用机与GEX-D共用;SEX16000cmH×1+1台;ORG4000cmH×1+1台。

防排烟系统:对于300m2以上的地面房间。疏散走道长度大于40m。消防排烟系统设置在20m以上的内走道上。防烟分区按50cm高度的挡烟垂壁划分,最大防烟分区面积为500m2。排烟风机风量为7200m3/h(60000×1.2倍)。在封闭房间内设置机械排烟系统时,同时设置机械排烟系统,排烟量为50%。防烟楼梯间及其前室、消防电梯前室或共用前室设置防烟设施。

3.清洁等级要求:

核心净化区0.3毫米.ISO5.5,辅助区0.3毫米.ISO6.5。工艺环境参数见表1。

4.施工重点分析:

4.1施工过程必须遵循洁净室施工四项原则。

(1)不带入。

(2)不产生。

(3)不积累。

(4)快速去除。

不带入,就是不带任何灰尘到洁净室,必须保证以下条件:

(1)高效过滤器和结构不会产生灰尘泄漏。

(2)保持洁净室正压。

(3)人员换衣换鞋人员可进入洁净室。

(4)材料和设备清洗后方可进入洁净室。不产生,即洁净室内不产生灰尘,必须保证以下条件:

(1)人员应穿干净的衣服。

(2)不要使用容易产生灰尘的材料和设备。

(3)不进行不必要的移动。

(4)不带无用品。不积累,即不在洁净室积灰,必须保证以下条件:

(1)设备角及周围不难清洗。

(2)洁净室尽量不要暴露风管和管道。

(3)遵守标准化净化程序。

快速去除是快速清除室内灰尘,必须做到以下几点:

(1)增加通风率。

(2)在产生灰尘的地方设置排气装置。

(3)采用适当的气流形式,避免灰尘粘在产品上。

4.2基于上述原则,洁净室施工重点工作。

做好洁净室气密隔离,将洁净室与外界完全隔离,确保外部污染物不能进入洁净室范围,在正式内部围护结构完成前进行临时隔离设施。

建立三级清洁管制,确保施工各阶段符合相应的净化管制标准。

高架地板开口率计算及孔板、盲板分布。为了保证华夫板回风均匀,从回风夹到另一侧的盲板分布率降低,以平衡气流,防止短路。

为保证内部围护结构的严密性,洁净区外墙、顶板必须保持严密,严禁外部空气泄漏进入洁净室。确保回风管道的密封性,包括干盘管墙的密封性和回风管道围护结构的气密性,保证干盘管段的风速和风量要求,防止气流短路,直接进入静压箱,无需干盘管。

进入二次清洁控制阶段,尽快在清洁室内建立正压。方法是利用新风机组为室内提供新鲜空气,建立正压,在新风机外的新风吸入口增加无纺布过滤新鲜空气,延长新风机的使用寿命。

洁净室施工完成后,经调试、检测,洁净室数据均符合设计指标。

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